扩散炉应用于半导体器件、分立器件、光电子器件、电力电子器件、及大规模集成电路制造等领域对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺,可用于2-8英寸工艺尺寸,可保存多条工艺曲线,每条曲线可设置多步。
扩散炉工艺曲线的自动360°无限旋转运行控制功能,自动运行中可暂停/继续运行功能。工艺中可强制跳到下一个工艺步运行功能,智能升降温斜率制功能,PID参数自整定功能,系统故障的检测与报警功能,智能悬臂推拉舟控制功能。停电后断点继续运行功能,工艺气体的程序控制功能(电磁阀/质量流量控制器),可根据用户的特殊要求增减或开发相应的功能。为了解决扩散炉360°旋转绕线问题,默孚龙推荐使用MB系列工业总线滑环。
默孚龙MB系列工业总线滑环主要特点:
1.完美支持总线类型有: CC-LINK、EtherCAT、EnterBUS,CanBUS、ProfiBUS、ProfiNET、DeviceNet,RS422、RS485、PLC等
2.高速率工业总线带导电滑环,绝不丢包
3.超强的抗干扰能力,从不报警
4.内部特殊的屏蔽处理
5.保证100%的通信无死点
6.主要给高速率数据和无错传输协议而设计
7.拥有独立的设计发明专利
8.接触部分采用稀有金属+镀硬金处理工艺,保证耐磨和抗氧化,从而保证了超长的使用寿命
9.可定制各类工业总线滑环,DeviceNET总线滑环,CanBus总线滑环,CC-LINK总线滑环,EtherCAT总线滑环等
默孚龙MB系列工业总线滑环是针对各类总线而设计开发的一款工业总线专用滑环,采用特殊工艺的复合镀层工艺,保证接触的长期可靠性,保证不丢包不报警,不延时。主要应用于工业自动化控制中的各类编码器,伺服电机以及各类控制器之间的总线通讯,如锂电池设备,各类高端智能化设备,各类激光类设备等。
Tag:工业总线滑环 全自动扩散炉专用滑环 默孚龙